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簡(jiǎn)要描述：元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置常見系統(tǒng)故障
產(chǎn)品型號(hào)：AES-4535廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-01-13訪 問 量：2225| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置常見系統(tǒng)故障
光刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置常見系統(tǒng)故障
1、回液：對(duì)于使用膨脹閥的制冷系統(tǒng)，回液與膨脹閥選型和使用不當(dāng)密切相關(guān)。膨脹閥選型過大、過熱度設(shè)定太小、感溫包安裝方法不正確或絕熱包扎破損、膨脹閥失靈都可能造成回液。對(duì)于使用毛細(xì)管的小制冷系統(tǒng)而言，加液量過大會(huì)引起回液。蒸發(fā)器結(jié)霜嚴(yán)重或風(fēng)扇故障時(shí)傳熱變差，未蒸發(fā)的液體會(huì)引起回液。溫度頻繁波動(dòng)也會(huì)引起膨脹閥反應(yīng)失靈而引起回液。
2、帶液?jiǎn)?dòng)：壓縮機(jī)內(nèi)的潤(rùn)滑油劇烈起泡的現(xiàn)象叫帶液?jiǎn)?dòng)。帶液?jiǎn)?dòng)時(shí)的起泡現(xiàn)象可以在油視鏡上清楚地觀察到。根本原因是潤(rùn)滑油中溶解的以及沉在潤(rùn)滑油下面了大量的制冷劑，在壓力突然降低時(shí)突然沸騰，并引起潤(rùn)滑油的起泡現(xiàn)象，很容易引起液擊。
3、排氣溫度過高：排氣溫度過高的原因主要有以下幾種：回氣溫度高、電機(jī)加熱量大、壓縮比高、冷凝壓力高、制冷劑的絕熱指數(shù)、制冷劑選擇不當(dāng)。
4、液擊：為了保證壓縮機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，防止產(chǎn)生液擊現(xiàn)象，要求吸氣溫度比蒸發(fā)溫度高一點(diǎn)，即應(yīng)具有一定的過熱度。吸氣溫度正常情況下應(yīng)比蒸發(fā)溫度高。
5、吸氣溫度高：系統(tǒng)中制冷劑充注量不足，或膨脹閥開啟度過小，膨脹閥口濾網(wǎng)堵塞，回氣管道隔熱不好或管道過長(zhǎng)等。
6、排氣溫度過低：節(jié)流閥或者干燥過濾器冰堵或臟堵，以及過濾器堵塞，制冷劑充注量不足。
